General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
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GB/T 29506-2013
GB/T 29506-2013 Normative Verweisungen
GB/T 11073 Standardmethode zur Messung der radialen Widerstandsschwankung auf Siliziumscheiben
GB/T 13388 Verfahren zur Messung der kristallographischen Orientierung von Flächen auf einkristallinen Siliziumscheiben und Wafern mittels Röntgentechnik
GB/T 14140 Testverfahren zur Messung des Durchmessers von Halbleiterwafern
GB/T 14264 Halbleitermaterialien – Begriffe und Definitionen
GB/T 1550 Prüfverfahren für den Leitfähigkeitstyp von extrinsischen Halbleitermaterialien*, 2018-12-28 Aktualisieren
GB/T 1554 Prüfverfahren für die kristallographische Perfektion von Silizium durch bevorzugte Ätztechniken
GB/T 1555 Methode zur Bestimmung der Kristallorientierung eines Halbleiter-Einkristalls*, 2023-08-06 Aktualisieren
GB/T 1557 Testverfahren zur Bestimmung des interstitiellen Sauerstoffgehalts in Silizium durch Infrarotabsorption*, 2018-09-17 Aktualisieren
GB/T 1558 Infrarot-Absorptionstestverfahren für den Gehalt an substituiertem Kohlenstoff in Silizium*, 2023-12-28 Aktualisieren
GB/T 19921 Prüfmethode für Partikel auf polierten Siliziumwaferoberflächen*, 2018-12-28 Aktualisieren
GB/T 19922 Standardtestmethoden zur Messung der Ebenheit von Siliziumwafern durch berührungsloses Scannen
GB/T 24578 Testmethode zur Messung der Oberflächenmetallkontamination auf Siliziumwafern mittels Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzspektroskopie*, 2015-12-10 Aktualisieren
GB/T 26067 Standardtestmethode für die Abmessungen von Kerben auf Siliziumwafern
GB/T 2828.1 Prüfverfahren nach Zählprobenahme Teil 1: Stichprobenplan für die Chargenprüfung, abgerufen durch die Akzeptanzqualitätsgrenze (AQL)
GB/T 29507 Testmethode zur Messung der Ebenheit, Dicke und Gesamtdickenschwankung von Siliziumwafern. Automatisiertes berührungsloses Scannen
GB/T 29508 300 mm monokristallines Silizium als Schnittscheiben und gemahlene Scheiben
GB/T 4058 Testverfahren zur Erkennung von durch Oxidation verursachten Defekten in polierten Siliziumwafern
GB/T 6616 Berührungsloses Wirbelstromverfahren zum Testen des spezifischen Widerstands von Halbleiterwafern und des Schichtwiderstands von Halbleiterfilmen*, 2023-08-06 Aktualisieren
GB/T 6624 Standardmethode zur Messung der Oberflächenqualität polierter Siliziumscheiben durch visuelle Inspektion
YS/T 26 Verfahren zur Prüfung der Randkontur eines Siliziumwafers*, 2016-07-11 Aktualisieren
YS/T 679 Oberflächenphotospannungsmethode zur Messung der Diffusionslänge von Minoritätsträgern in extrinsischen Halbleitern*, 2018-10-22 Aktualisieren
GB/T 29506-2013 Veröffentlichungsverlauf
2013GB/T 29506-2013 300 mm polierte monokristalline Siliziumwafer