GB/T 11073-2007
Standardmethode zur Messung der radialen Widerstandsschwankung auf Siliziumscheiben (Englische Version)

Standard-Nr.
GB/T 11073-2007
Sprachen
Chinesisch, Verfügbar auf Englisch
Erscheinungsdatum
2007
Organisation
General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Letzte Version
GB/T 11073-2007
Ersetzen
GB/T 11073-1989

GB/T 11073-2007 Normative Verweisungen

  • GB/T 12965 Monokristallines Silizium als geschnittene Wafer und geläppte Wafer*2018-09-17 Aktualisieren
  • GB/T 1552 Testverfahren zur Messung des spezifischen Widerstands von einkristallinem Silizium und Germanium mit einem kollinearen Vier-Sonden-Array
  • GB/T 2828 Chargenweise Inspektion, Zählverfahren und Probenahmetabelle (gilt für kontinuierliche Chargenprüfung)
  • GB/T 6618-1995 Prüfverfahren für Dicke und Gesamtdickenschwankung von Siliziumscheiben

GB/T 11073-2007 Veröffentlichungsverlauf

  • 2007 GB/T 11073-2007 Standardmethode zur Messung der radialen Widerstandsschwankung auf Siliziumscheiben
  • 1989 GB/T 11073-1989 Standardmethode zur Messung der radialen Widerstandsschwankung auf Siliziumscheiben
Standardmethode zur Messung der radialen Widerstandsschwankung auf Siliziumscheiben



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