GB/T 6616-2023
Berührungsloses Wirbelstromverfahren zum Testen des spezifischen Widerstands von Halbleiterwafern und des Schichtwiderstands von Halbleiterfilmen (Englische Version)

Standard-Nr.

GB/T 6616-2023

Sprachen

Chinesisch, Verfügbar auf Englisch

Erscheinungsdatum

2023

Organisation

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

Letzte Version

GB/T 6616-2023

Ersetzen

GB/T 6616-2009

GB/T 6616-2023 Veröffentlichungsverlauf

• 2023 GB/T 6616-2023 Berührungsloses Wirbelstromverfahren zum Testen des spezifischen Widerstands von Halbleiterwafern und des Schichtwiderstands von Halbleiterfilmen
• 2009 GB/T 6616-2009 Prüfverfahren zur Messung des spezifischen Widerstands von Halbleiterwafern oder des Schichtwiderstands von Halbleiterfilmen mit einem berührungslosen Wirbelstrommessgerät
• 1995 GB/T 6616-1995 Prüfverfahren zur Messung des spezifischen Widerstands von Halbleitersilizium oder des Schichtwiderstands von Halbleiterfilmen mit einem berührungslosen Wirbelstrommessgerät