GB/T 19922-2005
Standardtestmethoden zur Messung der Ebenheit von Siliziumwafern durch berührungsloses Scannen (Englische Version)

Standard-Nr.

GB/T 19922-2005

Sprachen

Chinesisch, Verfügbar auf Englisch

Erscheinungsdatum

2005

Organisation

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

Letzte Version

GB/T 19922-2005

GB/T 19922-2005 Normative Verweisungen

• ASTM F1530-94 Standardtestmethode zur Messung der Ebenheit, Dicke und Dickenschwankung von Siliziumwafern durch automatisiertes berührungsloses Scannen
• GB/T 14264 Halbleitermaterialien – Begriffe und Definitionen*， 2009-10-30 Aktualisieren

GB/T 19922-2005 Veröffentlichungsverlauf

• 2005 GB/T 19922-2005 Standardtestmethoden zur Messung der Ebenheit von Siliziumwafern durch berührungsloses Scannen