GB/T 19921-2018
Prüfmethode für Partikel auf polierten Siliziumwaferoberflächen (Englische Version)

Standard-Nr.

GB/T 19921-2018

Sprachen

Chinesisch, Verfügbar auf Englisch

Erscheinungsdatum

2018

Organisation

国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会

Letzte Version

GB/T 19921-2018

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GB/T 19921-2005

GB/T 19921-2018 Veröffentlichungsverlauf

• 2018 GB/T 19921-2018 Prüfmethode für Partikel auf polierten Siliziumwaferoberflächen
• 2005 GB/T 19921-2005 Testmethode für Partikel auf Siliziumwaferoberflächen