GB/T 24578-2015
Testmethode zur Messung der Oberflächenmetallkontamination auf Siliziumwafern mittels Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzspektroskopie (Englische Version)

Standard-Nr.

GB/T 24578-2015

Sprachen

Chinesisch, Verfügbar auf Englisch

Erscheinungsdatum

2015

Organisation

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

Letzte Version

GB/T 24578-2015

Ersetzen

GB/T 24578-2009

GB/T 24578-2015 Normative Verweisungen

• GB 50073-2013 Code für die Gestaltung von Reinräumen
• GB/T 14264 Halbleitermaterialien – Begriffe und Definitionen

GB/T 24578-2015 Veröffentlichungsverlauf

• 2015 GB/T 24578-2015 Testmethode zur Messung der Oberflächenmetallkontamination auf Siliziumwafern mittels Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzspektroskopie
• 2009 GB/T 24578-2009 Testmethode zur Messung der Oberflächenmetallkontamination auf Siliziumwafern mittels Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzspektroskopie