GB/T 4058-2009
Testverfahren zur Erkennung von durch Oxidation verursachten Defekten in polierten Siliziumwafern (Englische Version)

Standard-Nr.

GB/T 4058-2009

Sprachen

Chinesisch, Verfügbar auf Englisch

Erscheinungsdatum

2009

Organisation

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

Letzte Version

GB/T 4058-2009

Ersetzen

GB/T 4058-1995

GB/T 4058-2009 Normative Verweisungen

• GB/T 14264 Halbleitermaterialien – Begriffe und Definitionen
• GB/T 1554 Prüfverfahren für die kristallographische Perfektion von Silizium durch bevorzugte Ätztechniken
• YS/T 209 In-situ-Defektkarte von Siliziummaterialien

GB/T 4058-2009 Veröffentlichungsverlauf

• 2009 GB/T 4058-2009 Testverfahren zur Erkennung von durch Oxidation verursachten Defekten in polierten Siliziumwafern
• 1995 GB/T 4058-1995 Testverfahren zur Erkennung von durch Oxidation verursachten Defekten in polierten Siliziumwafern