GB/T 1558-2023
Infrarot-Absorptionstestverfahren für den Gehalt an substituiertem Kohlenstoff in Silizium (Englische Version)

Standard-Nr.

GB/T 1558-2023

Sprachen

Chinesisch, Verfügbar auf Englisch

Erscheinungsdatum

2023

Organisation

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

Letzte Version

GB/T 1558-2023

Ersetzen

GB/T 1558-2009

Anwendungsbereich

Dieses Dokument beschreibt die Infrarot-Absorptionstestmethode für den Gehalt an substituierten Kohlenstoffatomen in Silizium. Dieses Dokument gilt für die Prüfung des Gehalts an substituierten Kohlenstoffatomen in p-Typ-Silizium-Einkristallen mit einem spezifischen Widerstand über $3~\Omega·cm$ und n-Typ-Silizium-Einkristallen mit einem spezifischen Widerstand über $1~Ω·cm$ (Prüfbereich bei Raumtemperatur: $5×10^{15}~cm^{-3}$ bis zur maximalen Feststofflöslichkeit von Kohlenstoffatomen in Silizium; Prüfbereich bei Temperaturen unter $80 K$: nicht weniger als $5×10^{14}~cm^{-3}$).

GB/T 1558-2023 Veröffentlichungsverlauf

• 2023 GB/T 1558-2023 Infrarot-Absorptionstestverfahren für den Gehalt an substituiertem Kohlenstoff in Silizium
• 2009 GB/T 1558-2009 Testverfahren für den substitutionellen atomaren Kohlenstoffgehalt von Silizium durch Infrarotabsorption
• 1997 GB/T 1558-1997 Prüfverfahren für den substitutionellen atomaren Kohlenstoffgehalt von Silizium durch Infrarotabsorption

Spezielle Themen zu Standards und Normen

Normen und Spezifikationen