GB/T 12964 Polierte Wafer aus monokristallinem Silizium*， 2018-09-17 Aktualisieren
GB/T 13387 Testverfahren zur Messung flacher Wafer aus Silizium und anderen elektronischen Materialien
GB/T 13388 Verfahren zur Messung der kristallographischen Orientierung von Flächen auf einkristallinen Siliziumscheiben und Wafern mittels Röntgentechnik
GB/T 14140 Testverfahren zur Messung des Durchmessers von Halbleiterwafern
GB/T 14144 Prüfverfahren zur Bestimmung der radialen interstitiellen Sauerstoffschwankung in Silizium
GB/T 14264 Halbleitermaterialien – Begriffe und Definitionen
GB/T 14844 Bezeichnungen von Halbleitermaterialien*， 2018-12-28 Aktualisieren
GB/T 1550 Prüfverfahren für den Leitfähigkeitstyp von extrinsischen Halbleitermaterialien*， 2018-12-28 Aktualisieren
GB/T 1554 Prüfverfahren für die kristallographische Perfektion von Silizium durch bevorzugte Ätztechniken
GB/T 1555 Methode zur Bestimmung der Kristallorientierung eines Halbleiter-Einkristalls*， 2023-08-06 Aktualisieren
GB/T 1557 Testverfahren zur Bestimmung des interstitiellen Sauerstoffgehalts in Silizium durch Infrarotabsorption*， 2018-09-17 Aktualisieren
GB/T 1558 Infrarot-Absorptionstestverfahren für den Gehalt an substituiertem Kohlenstoff in Silizium*， 2023-12-28 Aktualisieren
GB/T 19921 Prüfmethode für Partikel auf polierten Siliziumwaferoberflächen*， 2018-12-28 Aktualisieren
GB/T 19922 Standardtestmethoden zur Messung der Ebenheit von Siliziumwafern durch berührungsloses Scannen
GB/T 2828.1 Prüfverfahren nach Zählprobenahme Teil 1: Stichprobenplan für die Chargenprüfung, abgerufen durch die Akzeptanzqualitätsgrenze (AQL)
GB/T 4058 Testverfahren zur Erkennung von durch Oxidation verursachten Defekten in polierten Siliziumwafern
GB/T 6616 Berührungsloses Wirbelstromverfahren zum Testen des spezifischen Widerstands von Halbleiterwafern und des Schichtwiderstands von Halbleiterfilmen*， 2023-08-06 Aktualisieren
GB/T 6618 Prüfverfahren für Dicke und Gesamtdickenschwankung von Siliziumscheiben
GB/T 6619 Prüfverfahren für die Biegung von Siliziumwafern
GB/T 6620 Testverfahren zur Messung der Verformung von Siliziumscheiben durch berührungsloses Scannen
GB/T 6621 Prüfmethoden für die Oberflächenebenheit von Siliziumscheiben
GB/T 6624 Standardmethode zur Messung der Oberflächenqualität polierter Siliziumscheiben durch visuelle Inspektion