GB/T 6620-2009
Testverfahren zur Messung der Verformung von Siliziumscheiben durch berührungsloses Scannen (Englische Version)

Standard-Nr.
GB/T 6620-2009
Sprachen
Chinesisch, Verfügbar auf Englisch
Erscheinungsdatum
2009
Organisation
General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Letzte Version
GB/T 6620-2009
Ersetzen
GB/T 6620-1995

GB/T 6620-2009 Normative Verweisungen

  • GB/T 14264 Halbleitermaterialien – Begriffe und Definitionen
  • GB/T 2828.1 Prüfverfahren nach Zählprobenahme Teil 1: Stichprobenplan für die Chargenprüfung, abgerufen durch die Akzeptanzqualitätsgrenze (AQL)*2013-02-15 Aktualisieren
  • GB/T 6618 Prüfverfahren für Dicke und Gesamtdickenschwankung von Siliziumscheiben

GB/T 6620-2009 Veröffentlichungsverlauf

  • 2009 GB/T 6620-2009 Testverfahren zur Messung der Verformung von Siliziumscheiben durch berührungsloses Scannen
  • 1995 GB/T 6620-1995 Testverfahren zur Messung der Verformung von Siliziumscheiben durch berührungsloses Scannen
Testverfahren zur Messung der Verformung von Siliziumscheiben durch berührungsloses Scannen



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