GB/T 26065-2010
Spezifikation für polierte Test-Siliziumwafer (Englische Version)
- Standard-Nr.
- GB/T 26065-2010
- Sprachen
- Chinesisch, Verfügbar auf Englisch
- Erscheinungsdatum
- 2011
- Organisation
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- Letzte Version
- GB/T 26065-2010
GB/T 26065-2010 Normative Verweisungen
- ASTM F1526
- GB/T 11073 Standardmethode zur Messung der radialen Widerstandsschwankung auf Siliziumscheiben
- GB/T 12964 Polierte Wafer aus monokristallinem Silizium*， 2018-09-17 Aktualisieren
- GB/T 13387 Testverfahren zur Messung flacher Wafer aus Silizium und anderen elektronischen Materialien
- GB/T 13388 Verfahren zur Messung der kristallographischen Orientierung von Flächen auf einkristallinen Siliziumscheiben und Wafern mittels Röntgentechnik
- GB/T 14140 Testverfahren zur Messung des Durchmessers von Halbleiterwafern
- GB/T 14264 Halbleitermaterialien – Begriffe und Definitionen
- GB/T 1550 Prüfverfahren für den Leitfähigkeitstyp von extrinsischen Halbleitermaterialien*， 2018-12-28 Aktualisieren
- GB/T 1554 Prüfverfahren für die kristallographische Perfektion von Silizium durch bevorzugte Ätztechniken
- GB/T 1555 Methode zur Bestimmung der Kristallorientierung eines Halbleiter-Einkristalls*， 2023-08-06 Aktualisieren
- GB/T 1557 Testverfahren zur Bestimmung des interstitiellen Sauerstoffgehalts in Silizium durch Infrarotabsorption*， 2018-09-17 Aktualisieren
- GB/T 2828.1 Prüfverfahren nach Zählprobenahme Teil 1: Stichprobenplan für die Chargenprüfung, abgerufen durch die Akzeptanzqualitätsgrenze (AQL)*， 2013-02-15 Aktualisieren
- GB/T 4058 Testverfahren zur Erkennung von durch Oxidation verursachten Defekten in polierten Siliziumwafern
- GB/T 6616 Berührungsloses Wirbelstromverfahren zum Testen des spezifischen Widerstands von Halbleiterwafern und des Schichtwiderstands von Halbleiterfilmen*， 2023-08-06 Aktualisieren
- GB/T 6618 Prüfverfahren für Dicke und Gesamtdickenschwankung von Siliziumscheiben
- GB/T 6619 Prüfverfahren für die Biegung von Siliziumwafern
- GB/T 6620 Testverfahren zur Messung der Verformung von Siliziumscheiben durch berührungsloses Scannen
- GB/T 6621 Prüfmethoden für die Oberflächenebenheit von Siliziumscheiben
- GB/T 6624 Standardmethode zur Messung der Oberflächenqualität polierter Siliziumscheiben durch visuelle Inspektion
- YS/T 26 Verfahren zur Prüfung der Randkontur eines Siliziumwafers*， 2016-07-11 Aktualisieren
GB/T 26065-2010 Veröffentlichungsverlauf
- 2011 GB/T 26065-2010 Spezifikation für polierte Test-Siliziumwafer
