GB/T 26069-2022 (Englische Version) Geglühte monokristalline Siliziumwafer Normen und Spezifikationen

GB/T 26069-2022 Normative Verweisungen

GB/T 12962 Silizium-Einkristall
GB/T 12965 Monokristallines Silizium als geschnittene Wafer und geläppte Wafer
GB/T 14264 Halbleitermaterialien – Begriffe und Definitionen
GB/T 1550 Prüfverfahren für den Leitfähigkeitstyp von extrinsischen Halbleitermaterialien
GB/T 19921 Prüfmethode für Partikel auf polierten Siliziumwaferoberflächen
GB/T 2828.1-2012 Prüfverfahren nach Zählprobenahme Teil 1: Stichprobenplan für die Chargenprüfung, abgerufen durch die Akzeptanzqualitätsgrenze (AQL)
GB/T 29507 Testmethode zur Messung der Ebenheit, Dicke und Gesamtdickenschwankung von Siliziumwafern. Automatisiertes berührungsloses Scannen
GB/T 32280 Testverfahren für Verformung und Biegung von Siliziumwafern – Automatisiertes berührungsloses Scanverfahren
GB/T 39145 Testmethode für den Gehalt an Oberflächenmetallelementen auf Siliziumwafern – Massenspektrometrie mit induktiv gekoppeltem Plasma
GB/T 4058 Testverfahren zur Erkennung von durch Oxidation verursachten Defekten in polierten Siliziumwafern
GB/T 6616 Berührungsloses Wirbelstromverfahren zum Testen des spezifischen Widerstands von Halbleiterwafern und des Schichtwiderstands von Halbleiterfilmen*， 2023-08-06 Aktualisieren
GB/T 6624 Standardmethode zur Messung der Oberflächenqualität polierter Siliziumscheiben durch visuelle Inspektion
YS/T 28 Waffelverpackung
YS/T 679 Oberflächenphotospannungsmethode zur Messung der Diffusionslänge von Minoritätsträgern in extrinsischen Halbleitern