GB/T 39145-2020
Testmethode für den Gehalt an Oberflächenmetallelementen auf Siliziumwafern – Massenspektrometrie mit induktiv gekoppeltem Plasma (Englische Version)

Standard-Nr.
GB/T 39145-2020
Sprachen
Chinesisch, Verfügbar auf Englisch
Erscheinungsdatum
2020
Organisation
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
Letzte Version
GB/T 39145-2020

GB/T 39145-2020 Normative Verweisungen

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  • GB/T 19921 Prüfmethode für Partikel auf polierten Siliziumwaferoberflächen
  • GB/T 25915.1 Reinräume und zugehörige kontrollierte Umgebungen – Teil 1: Klassifizierung der Luftreinheit nach Partikelkonzentration*2021-08-20 Aktualisieren
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  • GB/T 6624 Standardmethode zur Messung der Oberflächenqualität polierter Siliziumscheiben durch visuelle Inspektion
  • JJF 1159 Kalibrierungsspezifikation für Quadrupol-Massenspektrometer mit induktiv gekoppeltem Plasma

GB/T 39145-2020 Veröffentlichungsverlauf

  • 2020 GB/T 39145-2020 Testmethode für den Gehalt an Oberflächenmetallelementen auf Siliziumwafern – Massenspektrometrie mit induktiv gekoppeltem Plasma
Testmethode für den Gehalt an Oberflächenmetallelementen auf Siliziumwafern – Massenspektrometrie mit induktiv gekoppeltem Plasma



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