ASTM F951-01
Standardtestmethode zur Bestimmung der radialen interstitiellen Sauerstoffschwankung in Siliziumwafern

Standard-Nr.

ASTM F951-01

Erscheinungsdatum

2001

Organisation

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Zustand

ersetzt werden

ersetzt durch

ASTM F951-02

Letzte Version

ASTM F951-02

ASTM F951-01 Normative Verweisungen

• ASTM F1188 
• ASTM F1366 
• ASTM F1619 Standardtestmethode zur Messung des interstitiellen Sauerstoffgehalts von Siliziumwafern durch Infrarotabsorptionsspektroskopie mit p-polarisiertem Strahlungseinfall im Brewster-Winkel
• ASTM F533 Standardtestmethode für Dicke und Dickenvariation von Siliziumwafern

ASTM F951-01 Veröffentlichungsverlauf

• 1970 ASTM F951-02
• 2001 ASTM F951-01 Standardtestmethode zur Bestimmung der radialen interstitiellen Sauerstoffschwankung in Siliziumwafern
• 2002 ASTM F951-96 Standardtestmethode zur Bestimmung der radialen interstitiellen Sauerstoffschwankung in Siliziumwafern