ASTM F951-96
Standardtestmethode zur Bestimmung der radialen interstitiellen Sauerstoffschwankung in Siliziumwafern

Standard-Nr.

ASTM F951-96

Erscheinungsdatum

2002

Organisation

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Zustand

ersetzt werden

ersetzt durch

ASTM F951-01

Letzte Version

ASTM F951-02

ASTM F951-96 Veröffentlichungsverlauf

• 1970 ASTM F951-02
• 2001 ASTM F951-01 Standardtestmethode zur Bestimmung der radialen interstitiellen Sauerstoffschwankung in Siliziumwafern
• 2002 ASTM F951-96 Standardtestmethode zur Bestimmung der radialen interstitiellen Sauerstoffschwankung in Siliziumwafern