ASTM F533-96
Standardtestmethode für Dicke und Dickenvariation von Siliziumwafern

Standard-Nr.

ASTM F533-96

Erscheinungsdatum

1996

Organisation

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Zustand

ersetzt werden

ersetzt durch

ASTM F533-02

Letzte Version

ASTM F533-02a

ASTM F533-96 Veröffentlichungsverlauf

• 1970 ASTM F533-02a
• 2002 ASTM F533-02 Standardtestmethode für Dicke und Dickenvariation von Siliziumwafern
• 1996 ASTM F533-96 Standardtestmethode für Dicke und Dickenvariation von Siliziumwafern