ASTM F1619-95(2000)e1
Standardtestmethode zur Messung des interstitiellen Sauerstoffgehalts von Siliziumwafern durch Infrarotabsorptionsspektroskopie mit p-polarisiertem Strahlungseinfall im Brewster-Winkel

Standard-Nr.

ASTM F1619-95(2000)e1

Erscheinungsdatum

1995

Organisation

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Zustand

zurückziehen 2003-08

Letzte Version

ASTM F1619-95(2000)e1

ASTM F1619-95(2000)e1 Normative Verweisungen

• ASTM F1188 
• ASTM F1241 

ASTM F1619-95(2000)e1 Veröffentlichungsverlauf

• 1995 ASTM F1619-95(2000)e1 Standardtestmethode zur Messung des interstitiellen Sauerstoffgehalts von Siliziumwafern durch Infrarotabsorptionsspektroskopie mit p-polarisiertem Strahlungseinfall im Brewster-Winkel
• 1995 ASTM F1619-95(2000) Standardtestmethode zur Messung des interstitiellen Sauerstoffgehalts von Siliziumwafern durch Infrarotabsorptionsspektroskopie mit p-polarisiertem Strahlungseinfall im Brewster-Winkel