ASTM F951-02

Standard-Nr.

ASTM F951-02

Erscheinungsdatum

1970

Organisation

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Letzte Version

ASTM F951-02

ASTM F951-02 Normative Verweisungen

• ASTM F1188 
• ASTM F1366 
• ASTM F1619 Standardtestmethode zur Messung des interstitiellen Sauerstoffgehalts von Siliziumwafern durch Infrarotabsorptionsspektroskopie mit p-polarisiertem Strahlungseinfall im Brewster-Winkel*， 1995-03-31 Aktualisieren
• ASTM F533 Standardtestmethode für Dicke und Dickenvariation von Siliziumwafern*， 1996-03-31 Aktualisieren

ASTM F951-02 Veröffentlichungsverlauf

• 1970 ASTM F951-02
• 2001 ASTM F951-01 Standardtestmethode zur Bestimmung der radialen interstitiellen Sauerstoffschwankung in Siliziumwafern
• 2002 ASTM F951-96 Standardtestmethode zur Bestimmung der radialen interstitiellen Sauerstoffschwankung in Siliziumwafern