ASTM F1618-02
- Standard-Nr.
- ASTM F1618-02
- Erscheinungsdatum
- 1970
- Organisation
- /
- Letzte Version
- ASTM F1618-02
ASTM F1618-02 Normative Verweisungen
- ASTM F1392
- ASTM F1393 Standardtestmethode zur Bestimmung der Nettoträgerdichte in Siliziumwafern durch Miller Feedback Profiler-Messungen mit einer Quecksilbersonde*， 1992-03-31 Aktualisieren
- ASTM F1529 Standardtestmethode zur Bewertung der Schichtwiderstandsgleichmäßigkeit durch Inline-Vierpunktsonde mit dem Dual-Konfigurationsverfahren*， 2024-03-31 Aktualisieren
- ASTM F374
- ASTM F576
- ASTM F673 Standardtestmethoden zur Messung des spezifischen Widerstands von Halbleiterscheiben oder des Schichtwiderstands von Halbleiterfilmen mit einem berührungslosen Wirbelstrommessgerät*， 1990-03-31 Aktualisieren
- ASTM F81
ASTM F1618-02 Veröffentlichungsverlauf
- 1970 ASTM F1618-02
- 1996 ASTM F1618-96 Standardpraxis zur Bestimmung der Gleichmäßigkeit dünner Filme auf Siliziumwafern
