ASTM F1393-92(1997)
Standardtestmethode zur Bestimmung der Nettoträgerdichte in Siliziumwafern durch Miller Feedback Profiler-Messungen mit einer Quecksilbersonde
- Standard-Nr.
- ASTM F1393-92(1997)
- Erscheinungsdatum
- 1992
- Organisation
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- Zustand
- ersetzt durch
- ASTM F1393-02
- Letzte Version
- ASTM F1393-02
ASTM F1393-92(1997) Normative Verweisungen
- ASTM D1193 Standardspezifikation für Reagenzwasser*， 1999-03-30 Aktualisieren
- ASTM F1241
- ASTM F26
- ASTM F419
- ASTM F42 Standardtestmethoden für den Leitfähigkeitstyp von extrinsischen Halbleitermaterialien*， 1993-03-30 Aktualisieren
- ASTM F673 Standardtestmethoden zur Messung des spezifischen Widerstands von Halbleiterscheiben oder des Schichtwiderstands von Halbleiterfilmen mit einem berührungslosen Wirbelstrommessgerät
- ASTM F723
- ASTM F81
- ASTM F84
ASTM F1393-92(1997) Veröffentlichungsverlauf
- 1970 ASTM F1393-02
- 1992 ASTM F1393-92(1997) Standardtestmethode zur Bestimmung der Nettoträgerdichte in Siliziumwafern durch Miller Feedback Profiler-Messungen mit einer Quecksilbersonde
