ASTM F673-90(1996)e1
Standardtestmethoden zur Messung des spezifischen Widerstands von Halbleiterscheiben oder des Schichtwiderstands von Halbleiterfilmen mit einem berührungslosen Wirbelstrommessgerät
- Standard-Nr.
- ASTM F673-90(1996)e1
- Erscheinungsdatum
- 1990
- Organisation
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- Zustand
- ersetzt durch
- ASTM F673-02
- Letzte Version
- ASTM F673-02
ASTM F673-90(1996)e1 Normative Verweisungen
- ASTM E1 Standardspezifikation für ASTM-Thermometer*， 1998-03-30 Aktualisieren
- ASTM F374
- ASTM F533 Standardtestmethode für Dicke und Dickenvariation von Siliziumwafern*， 1996-03-30 Aktualisieren
- ASTM F81
- ASTM F84
ASTM F673-90(1996)e1 Veröffentlichungsverlauf
- 1970 ASTM F673-02
- 1990 ASTM F673-90(1996)e1 Standardtestmethoden zur Messung des spezifischen Widerstands von Halbleiterscheiben oder des Schichtwiderstands von Halbleiterfilmen mit einem berührungslosen Wirbelstrommessgerät
