ASTM F42 Standardtestmethoden für den Leitfähigkeitstyp von extrinsischen Halbleitermaterialien*, 1993-03-31 Aktualisieren
ASTM F672 Standardtestmethode zur Messung von Widerstandsprofilen senkrecht zur Oberfläche eines Siliziumwafers unter Verwendung einer Ausbreitungswiderstandssonde*, 1988-03-31 Aktualisieren
2000ASTM F1392-00 Standardtestmethode zur Bestimmung von Nettoträgerdichteprofilen in Siliziumwafern durch Kapazitäts-Spannungsmessungen mit einer Quecksilbersonde