ASTM F1618-96
Standardpraxis zur Bestimmung der Gleichmäßigkeit dünner Filme auf Siliziumwafern

Standard-Nr.

ASTM F1618-96

Erscheinungsdatum

1996

Organisation

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Zustand

ersetzt werden

ersetzt durch

ASTM F1618-02

Letzte Version

ASTM F1618-02

ASTM F1618-96 Veröffentlichungsverlauf

• 1970 ASTM F1618-02
• 1996 ASTM F1618-96 Standardpraxis zur Bestimmung der Gleichmäßigkeit dünner Filme auf Siliziumwafern