DIN 32567-3:2014 Produktionsanlagen für Mikrosysteme - Bestimmung des Einflusses von Werkstoffen auf die optische und taktile Maßmesstechnik - Teil 3: Ableitung von Korrekturwerten für taktile Messgeräte
DIN 32564-1:2004 Produktionsanlagen für Mikrosysteme - Begriffe und Definitionen - Teil 1: Allgemeine Begriffe der Mikrosystemtechnik
DIN 32567-1 Produktionsanlagen für Mikrosysteme - Bestimmung des Einflusses von Materialien auf die optische und taktile Maßmesstechnik - Teil 1: Qualitative Abschätzung der material- und verfahrensspezifischen Einflüsse*, 2015-06-01 Aktualisieren
DIN 32567-2:2014 Produktionsanlagen für Mikrosysteme – Bestimmung des Einflusses von Werkstoffen auf die optische und taktile Maßmesstechnik – Teil 2: Prüfkörper für taktile Verfahren
DIN EN ISO 12179:2000 Geometrische Produktspezifikationen (GPS) – Oberflächentextur: Profilmethode – Kalibrierung von Kontaktinstrumenten (Stiftinstrumenten) (ISO 12179:2000); Deutsche Fassung EN ISO 12179:2000
DIN EN ISO 25178-601:2011 Geometrische Produktspezifikationen (GPS) - Oberflächenbeschaffenheit: Fläche - Teil 601: Nenneigenschaften von Kontaktinstrumenten (Stiftinstrumenten) (ISO 25178-601:2010); Deutsche Fassung EN ISO 25178-601:2010
DIN EN ISO 3274:1998 Geometrische Produktspezifikationen (GPS) – Oberflächenbeschaffenheit: Profilmethode – Nenneigenschaften von Kontaktinstrumenten (Stiftinstrumenten) (ISO 3274:1996); Deutsche Fassung EN ISO 3274:1997
DIN EN ISO 5436-1:2000 Geometrische Produktspezifikationen (GPS) - Oberflächenbeschaffenheit: Profilmethode; Messnormen – Teil 1: Materialmaße (ISO 5436-1:2000); Deutsche Fassung EN ISO 5436-1:2000
VDI/VDE 2617 Blatt 12.1-2011 Genauigkeit von Koordinatenmessgeräten - Eigenschaften und deren Überprüfung - Abnahme- und Nachprüfungen für taktile KMG zur Messung von Mikrogeometrien
VDI/VDE 2629 Blatt 1-2008 Genauigkeit von Konturmesssystemen - Merkmale und Merkmalsprüfung - Abnahmeprüfung und Nachprüfung von Konturmesssystemen nach dem Taststiftverfahren
VDI/VDE 2655 Blatt 1.2-2010 Optische Messung der Mikrotopographie – Kalibrierung von konfokalen Mikroskopen und Tiefeneinstellnormalen zur Rauheitsmessung
2014DIN 32567-3:2014-10 Produktionsanlagen für Mikrosysteme - Bestimmung des Einflusses von Werkstoffen auf die optische und taktile Maßmesstechnik - Teil 3: Ableitung von Korrekturwerten für taktile Messgeräte
2014DIN 32567-3:2014 Produktionsanlagen für Mikrosysteme - Bestimmung des Einflusses von Werkstoffen auf die optische und taktile Maßmesstechnik - Teil 3: Ableitung von Korrekturwerten für taktile Messgeräte
1970DIN 32567-3 E:2012-07 Produktionsanlagen für Mikrosysteme - Bestimmung des Einflusses von Werkstoffen auf die optische und taktile Maßmesstechnik - Teil 3: Ableitung von Korrekturwerten für taktile Messgeräte