GB/T 41652-2022
Siliziumelektrode und Siliziumring für Plasmaätzmaschine (Englische Version)

Standard-Nr.
GB/T 41652-2022
Sprachen
Chinesisch, Verfügbar auf Englisch
Erscheinungsdatum
2022
Organisation
General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Letzte Version
GB/T 41652-2022

GB/T 41652-2022 Normative Verweisungen

  • GB/T 11073 Standardmethode zur Messung der radialen Widerstandsschwankung auf Siliziumscheiben
  • GB/T 14264 Halbleitermaterialien – Begriffe und Definitionen
  • GB/T 1550 Prüfverfahren für den Leitfähigkeitstyp von extrinsischen Halbleitermaterialien
  • GB/T 1551 Testverfahren zur Messung des spezifischen Widerstands von einkristallinem Silizium – Inline-Vierpunktsonden- und Gleichstrom-Zweipunktsondenverfahren
  • GB/T 1554 Prüfverfahren für die kristallographische Perfektion von Silizium durch bevorzugte Ätztechniken
  • GB/T 1555 Methode zur Bestimmung der Kristallorientierung eines Halbleiter-Einkristalls*2023-08-06 Aktualisieren
  • GB/T 1557 Testverfahren zur Bestimmung des interstitiellen Sauerstoffgehalts in Silizium durch Infrarotabsorption
  • GB/T 1558 Infrarot-Absorptionstestverfahren für den Gehalt an substituiertem Kohlenstoff in Silizium*2023-12-28 Aktualisieren
  • GB/T 29505 Prüfverfahren zur Messung der Oberflächenrauheit auf planaren Oberflächen von Siliziumwafern
  • GB/T 6624 Standardmethode zur Messung der Oberflächenqualität polierter Siliziumscheiben durch visuelle Inspektion

GB/T 41652-2022 Veröffentlichungsverlauf

  • 2022 GB/T 41652-2022 Siliziumelektrode und Siliziumring für Plasmaätzmaschine
Siliziumelektrode und Siliziumring für Plasmaätzmaschine



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