GB/T 32280-2015
Testverfahren für die Verformung von Siliziumwafern. Automatisiertes berührungsloses Scanverfahren (Englische Version)

Standard-Nr.

GB/T 32280-2015

Sprachen

Chinesisch, Verfügbar auf Englisch

Erscheinungsdatum

2015

Organisation

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

Zustand

ersetzt werden 2022-10

ersetzt durch

GB/T 32280-2022

Letzte Version

GB/T 32280-2022

GB/T 32280-2015 Normative Verweisungen

• GB 50073-2013 Code für die Gestaltung von Reinräumen
• GB/T 14264 Halbleitermaterialien – Begriffe und Definitionen
• GB/T 29507 Testmethode zur Messung der Ebenheit, Dicke und Gesamtdickenschwankung von Siliziumwafern. Automatisiertes berührungsloses Scannen
• GB/T 6620 Testverfahren zur Messung der Verformung von Siliziumscheiben durch berührungsloses Scannen

GB/T 32280-2015 Veröffentlichungsverlauf

• 2022 GB/T 32280-2022 Testverfahren für Verformung und Biegung von Siliziumwafern – Automatisiertes berührungsloses Scanverfahren
• 2015 GB/T 32280-2015 Testverfahren für die Verformung von Siliziumwafern. Automatisiertes berührungsloses Scanverfahren