DIN 50451-6:2014
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnik – Bestimmung von Elementspuren in Flüssigkeiten – Teil 6: Bestimmung von 36 Elementen in einer hochreinen Ammoniumfluoridlösung (NH4F) und in Ätzmischungen hochreiner Ammoniumfluoridlösung