DIN 50451-6:2014-11
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnik - Bestimmung von Spuren von Elementen in Flüssigkeiten - Teil 6: Bestimmung von 36 Elementen in einer hochreinen Ammoniumfluoridlösung (NH<(Index)4>F) und in Ätzmischungen aus hochreinem Ammonium. ..