DIN 50451-6 E:2012-11
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnik – Bestimmung von Elementspuren in Flüssigkeiten – Teil 6: Bestimmung von 36 Elementen in einer hochreinen Ammoniumfluoridlösung (NH4F) und in Ätzmischungen hochreiner Ammoniumfluoridlösung