GB/T 14146-2009
Siliziumepitaxieschichten – Bestimmung der Trägerkonzentration – Quecksilbersondenspannungen – Kapazitätsmethode (Englische Version)

Standard-Nr.

GB/T 14146-2009

Sprachen

Chinesisch, Verfügbar auf Englisch

Erscheinungsdatum

2009

Organisation

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

Zustand

ersetzt werden 2021-12

ersetzt durch

GB/T 14146-2021

Letzte Version

GB/T 14146-2021

Ersetzen

GB/T 14146-1993

GB/T 14146-2009 Normative Verweisungen

• GB/T 14847-1993 Prüfverfahren zur Bestimmung der Dicke von leicht dotierten äquitaktischen Siliziumschichten auf stark dotierten Siliziumsubstraten durch Infrarotreflexion
• GB/T 1550-1997 Standardmethoden zur Messung der Leitfähigkeit von extrinsischen Halbleitermaterialien
• GB/T 1552-1995 Testverfahren zur Messung des spezifischen Widerstands von einkristallinem Silizium und Germanium mit einem kollinearen Vier-Sonden-Array

GB/T 14146-2009 Veröffentlichungsverlauf

• 2021 GB/T 14146-2021 Testverfahren für die Trägerkonzentration von Silizium-Epitaxieschichten – Kapazitäts-Spannungs-Verfahren
• 2009 GB/T 14146-2009 Siliziumepitaxieschichten – Bestimmung der Trägerkonzentration – Quecksilbersondenspannungen – Kapazitätsmethode
• 1993 GB/T 14146-1993 Siliziumepitaxieschichten – Bestimmung der Ladungsträgerkonzentration – Quecksilbersonden-Spannungskapazitätsmethode