GB/T 14146-2021
Testverfahren für die Trägerkonzentration von Silizium-Epitaxieschichten – Kapazitäts-Spannungs-Verfahren (Englische Version)
- Standard-Nr.
- GB/T 14146-2021
- Sprachen
- Chinesisch, Verfügbar auf Englisch
- Erscheinungsdatum
- 2021
- Organisation
- 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
- Letzte Version
- GB/T 14146-2021
- Ersetzen
- GB/T 14146-2009
GB/T 14146-2021 Normative Verweisungen
- GB/T 14264 Halbleitermaterialien – Begriffe und Definitionen
- GB/T 14847 Prüfverfahren für die Dicke von leicht dotierten Silizium-Epitaxieschichten auf stark dotierten Siliziumsubstraten durch Infrarotreflexion
- GB/T 1550 Prüfverfahren für den Leitfähigkeitstyp von extrinsischen Halbleitermaterialien
- GB/T 1551 Testverfahren zur Messung des spezifischen Widerstands von einkristallinem Silizium – Inline-Vierpunktsonden- und Gleichstrom-Zweipunktsondenverfahren
- GB/T 6624 Standardmethode zur Messung der Oberflächenqualität polierter Siliziumscheiben durch visuelle Inspektion
GB/T 14146-2021 Veröffentlichungsverlauf
- 2021 GB/T 14146-2021 Testverfahren für die Trägerkonzentration von Silizium-Epitaxieschichten – Kapazitäts-Spannungs-Verfahren
- 2009 GB/T 14146-2009 Siliziumepitaxieschichten – Bestimmung der Trägerkonzentration – Quecksilbersondenspannungen – Kapazitätsmethode
- 1993 GB/T 14146-1993 Siliziumepitaxieschichten – Bestimmung der Ladungsträgerkonzentration – Quecksilbersonden-Spannungskapazitätsmethode
