GB/T 14847-1993
Prüfverfahren zur Bestimmung der Dicke von leicht dotierten äquitaktischen Siliziumschichten auf stark dotierten Siliziumsubstraten durch Infrarotreflexion (Englische Version)
- Standard-Nr.
- GB/T 14847-1993
- Sprachen
- Chinesisch, Verfügbar auf Englisch
- Erscheinungsdatum
- 1993
- Organisation
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- Zustand
- 2011-10
- ersetzt durch
- GB/T 14847-2010
- Letzte Version
- GB/T 14847-2010
GB/T 14847-1993 Veröffentlichungsverlauf
- 2011 GB/T 14847-2010 Prüfverfahren für die Dicke von leicht dotierten Silizium-Epitaxieschichten auf stark dotierten Siliziumsubstraten durch Infrarotreflexion
- 1993 GB/T 14847-1993 Prüfverfahren zur Bestimmung der Dicke von leicht dotierten äquitaktischen Siliziumschichten auf stark dotierten Siliziumsubstraten durch Infrarotreflexion
