GB/T 14141-2009
Testverfahren für den Schichtwiderstand epitaktischer, diffundierter und ionenimplantierter Siliziumschichten unter Verwendung eines kollinearen Vier-Sonden-Arrays (Englische Version)

Standard-Nr.

GB/T 14141-2009

Sprachen

Chinesisch, Verfügbar auf Englisch

Erscheinungsdatum

2009

Organisation

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

Letzte Version

GB/T 14141-2009

Ersetzen

GB/T 14141-1993

GB/T 14141-2009 Normative Verweisungen

• GB/T 11073-2007 Standardmethode zur Messung der radialen Widerstandsschwankung auf Siliziumscheiben
• GB/T 1552-1995 Testverfahren zur Messung des spezifischen Widerstands von einkristallinem Silizium und Germanium mit einem kollinearen Vier-Sonden-Array

GB/T 14141-2009 Veröffentlichungsverlauf

• 2009 GB/T 14141-2009 Testverfahren für den Schichtwiderstand epitaktischer, diffundierter und ionenimplantierter Siliziumschichten unter Verwendung eines kollinearen Vier-Sonden-Arrays
• 1993 GB/T 14141-1993 Testverfahren für den Schichtwiderstand epitaktischer, diffundierter und ionenimplantierter Siliziumschichten unter Verwendung eines kollinearen Vier-Sonden-Arrays