GB/T 14141-1993 Testverfahren für den Schichtwiderstand epitaktischer, diffundierter und ionenimplantierter Siliziumschichten unter Verwendung eines kollinearen Vier-Sonden-Arrays (Englische Version)
2009GB/T 14141-2009 Testverfahren für den Schichtwiderstand epitaktischer, diffundierter und ionenimplantierter Siliziumschichten unter Verwendung eines kollinearen Vier-Sonden-Arrays
1993GB/T 14141-1993 Testverfahren für den Schichtwiderstand epitaktischer, diffundierter und ionenimplantierter Siliziumschichten unter Verwendung eines kollinearen Vier-Sonden-Arrays