ASTM F533-02
Standardtestmethode für Dicke und Dickenvariation von Siliziumwafern
- Standard-Nr.
- ASTM F533-02
- Erscheinungsdatum
- 2002
- Organisation
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- Zustand
- ersetzt durch
- ASTM F533-02a
- Letzte Version
- ASTM F533-02a
ASTM F533-02 Normative Verweisungen
- ASTM F1530 Standardtestmethode zur Messung der Ebenheit, Dicke und Dickenschwankung von Siliziumwafern durch automatisiertes berührungsloses Scannen
ASTM F533-02 Veröffentlichungsverlauf
- 1970 ASTM F533-02a
- 2002 ASTM F533-02 Standardtestmethode für Dicke und Dickenvariation von Siliziumwafern
- 1996 ASTM F533-96 Standardtestmethode für Dicke und Dickenvariation von Siliziumwafern
