ASTM F1530-94
Standardtestmethode zur Messung der Ebenheit, Dicke und Dickenschwankung von Siliziumwafern durch automatisiertes berührungsloses Scannen
- Standard-Nr.
- ASTM F1530-94
- Erscheinungsdatum
- 1994
- Organisation
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- Zustand
- ersetzt durch
- ASTM F1530-02
- Letzte Version
- ASTM F1530-02
ASTM F1530-94 Normative Verweisungen
- ASTM F1241
- ASTM F1390 Standardtestmethode zur Messung der Verformung von Siliziumwafern durch automatisiertes berührungsloses Scannen*， 1997-03-30 Aktualisieren
ASTM F1530-94 Veröffentlichungsverlauf
- 1970 ASTM F1530-02
- 1994 ASTM F1530-94 Standardtestmethode zur Messung der Ebenheit, Dicke und Dickenschwankung von Siliziumwafern durch automatisiertes berührungsloses Scannen
