ASTM F154-00
Standardhandbuch zur Identifizierung von Strukturen und Verunreinigungen auf spiegelnden Siliziumoberflächen
- Standard-Nr.
- ASTM F154-00
- Erscheinungsdatum
- 2000
- Organisation
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- Zustand
- ersetzt durch
- ASTM F154-02
- Letzte Version
- ASTM F154-02
ASTM F154-00 Normative Verweisungen
- ASTM F1241
- ASTM F1725 Standardhandbuch zur Analyse der kristallographischen Perfektion von Siliziumbarren
- ASTM F1726 Standardhandbuch zur Analyse der kristallographischen Perfektion von Siliziumwafern
- ASTM F1727 Standardpraxis zur Erkennung von durch Oxidation verursachten Defekten in polierten Siliziumwafern
- ASTM F1809 Standardhandbuch für die Auswahl und Verwendung von Ätzlösungen zur Darstellung struktureller Defekte in Silizium
- ASTM F1810
- ASTM F523 Standardpraxis für die visuelle Inspektion polierter Siliziumwaferoberflächen ohne Hilfsmittel
ASTM F154-00 Veröffentlichungsverlauf
- 1970 ASTM F154-02
- 2000 ASTM F154-00 Standardhandbuch zur Identifizierung von Strukturen und Verunreinigungen auf spiegelnden Siliziumoberflächen
