ASTM F1726-97
Standardhandbuch zur Analyse der kristallographischen Perfektion von Siliziumwafern

Standard-Nr.
ASTM F1726-97
Erscheinungsdatum
1997
Organisation
American Society for Testing and Materials (ASTM)
Zustand
ersetzt durch
ASTM F1726-02
Letzte Version
ASTM F1726-02

ASTM F1726-97 Normative Verweisungen

  • ASTM D5127 Standardhandbuch für Reinstwasser zur Verwendung in der Elektronik- und Halbleiterindustrie*1999-03-30 Aktualisieren
  • ASTM F1241 
  • ASTM F1809 Standardhandbuch für die Auswahl und Verwendung von Ätzlösungen zur Darstellung struktureller Defekte in Silizium
  • ASTM F1810 
  • ASTM F523 Standardpraxis für die visuelle Inspektion polierter Siliziumwaferoberflächen ohne Hilfsmittel
  • ASTM F95 

ASTM F1726-97 Veröffentlichungsverlauf

Standardhandbuch zur Analyse der kristallographischen Perfektion von Siliziumwafern



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