ASTM F523-93(1997)
Standardpraxis für die visuelle Inspektion polierter Siliziumwaferoberflächen ohne Hilfsmittel

Standard-Nr.

ASTM F523-93(1997)

Erscheinungsdatum

1993

Organisation

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Zustand

ersetzt werden

ersetzt durch

ASTM F523-02

Letzte Version

ASTM F523-02

ASTM F523-93(1997) Normative Verweisungen

• ASTM F154 
• ASTM F416 

ASTM F523-93(1997) Veröffentlichungsverlauf

• 1970 ASTM F523-02
• 1993 ASTM F523-93(1997) Standardpraxis für die visuelle Inspektion polierter Siliziumwaferoberflächen ohne Hilfsmittel