ASTM F673-02

Standard-Nr.

ASTM F673-02

Erscheinungsdatum

1970

Organisation

/

Letzte Version

ASTM F673-02

ASTM F673-02 Normative Verweisungen

• ASTM E1 Standardspezifikation für ASTM-Thermometer*， 1998-03-31 Aktualisieren
• ASTM E691 Standardpraxis für die Durchführung eines Ringversuchs zur Bestimmung der Präzision einer Testmethode*， 1999-03-31 Aktualisieren
• ASTM F1527 
• ASTM F374 
• ASTM F533 Standardtestmethode für Dicke und Dickenvariation von Siliziumwafern*， 1996-03-31 Aktualisieren
• ASTM F81 
• ASTM F84 

ASTM F673-02 Veröffentlichungsverlauf

• 1970 ASTM F673-02
• 1990 ASTM F673-90(1996)e1 Standardtestmethoden zur Messung des spezifischen Widerstands von Halbleiterscheiben oder des Schichtwiderstands von Halbleiterfilmen mit einem berührungslosen Wirbelstrommessgerät