2009GB/T 14140-2009 Testverfahren zur Messung des Durchmessers von Halbleiterwafern
1993GB/T 14140.1-1993 Siliziumscheiben und -wafer – Durchmessermessung – Optische Projektionsmethode
GB/T 14140.1-1993 Siliziumscheiben und -wafer – Durchmessermessung – Optische Projektionsmethode ha sido cambiado a GB/T 14140-2009 Testverfahren zur Messung des Durchmessers von Halbleiterwafern.