DIN 50455-1:1991
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnik; Methoden zur Charakterisierung von Fotolacken; Bestimmung der Schichtdicke mit optischen Methoden

Standard-Nr.

DIN 50455-1:1991

Erscheinungsdatum

1991

Organisation

German Institute for Standardization

Zustand

zurückziehen 2009-10

ersetzt durch

DIN 50455-1:2009

Letzte Version

DIN 50455-1:2009-10

DIN 50455-1:1991 Veröffentlichungsverlauf

• 2009 DIN 50455-1:2009-10 Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnik – Methoden zur Charakterisierung von Fotolacken – Teil 1: Bestimmung der Schichtdicke mit optischen Methoden
• 2009 DIN 50455-1:2009 Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnik – Methoden zur Charakterisierung von Fotolacken – Teil 1: Bestimmung der Schichtdicke mit optischen Methoden
• 1991 DIN 50455-1:1991 Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnik; Methoden zur Charakterisierung von Fotolacken; Bestimmung der Schichtdicke mit optischen Methoden