DIN EN ISO 25178-603 E:2011
Entwurf eines Dokuments – Geometrische Produktspezifikation (GPS) – Oberflächenbeschaffenheit: Fläche – Teil 603: Nominale Eigenschaften berührungsloser Instrumente (phasenverschiebende interferometrische Mikroskopie) (ISO/DIS 25178-603:2011); Deutsche Fassung prEN ISO 25178-603:2011