DIN EN ISO 25178-603:2014-02
Geometrische Produktspezifikationen (GPS) – Oberflächenbeschaffenheit: Fläche – Teil 603: Nominelle Eigenschaften berührungsloser Instrumente (phasenverschiebende interferometrische Mikroskopie) (ISO 25178-603:2013); Deutsche Fassung EN ISO 25178-603:2013