JIS K 0143:2023
Chemische Oberflächenanalyse – Sekundärionen-Massenspektrometrie – Bestimmung der Bor-Atomkonzentration in Silizium unter Verwendung gleichmäßig dotierter Materialien

Standard-Nr.

JIS K 0143:2023

Erscheinungsdatum

2023

Organisation

Japanese Industrial Standards Committee (JISC)

Letzte Version

JIS K 0143:2023

JIS K 0143:2023 Veröffentlichungsverlauf

• 2023 JIS K 0143:2023 Chemische Oberflächenanalyse – Sekundärionen-Massenspektrometrie – Bestimmung der Bor-Atomkonzentration in Silizium unter Verwendung gleichmäßig dotierter Materialien
• 2000 JIS K 0143:2000 Chemische Oberflächenanalyse – Sekundärionen-Massenspektrometrie – Bestimmung der Bor-Atomkonzentration in Silizium unter Verwendung gleichmäßig dotierter Materialien