JIS K 0143:2000
Chemische Oberflächenanalyse – Sekundärionen-Massenspektrometrie – Bestimmung der Bor-Atomkonzentration in Silizium unter Verwendung gleichmäßig dotierter Materialien

Standard-Nr.
JIS K 0143:2000
Erscheinungsdatum
2000
Organisation
Japanese Industrial Standards Committee (JISC)
Zustand
 2023-02
ersetzt durch
JIS K 0143:2023
Letzte Version
JIS K 0143:2023

JIS K 0143:2000 Veröffentlichungsverlauf

  • 2023 JIS K 0143:2023 Chemische Oberflächenanalyse – Sekundärionen-Massenspektrometrie – Bestimmung der Bor-Atomkonzentration in Silizium unter Verwendung gleichmäßig dotierter Materialien
  • 2000 JIS K 0143:2000 Chemische Oberflächenanalyse – Sekundärionen-Massenspektrometrie – Bestimmung der Bor-Atomkonzentration in Silizium unter Verwendung gleichmäßig dotierter Materialien
Chemische Oberflächenanalyse – Sekundärionen-Massenspektrometrie – Bestimmung der Bor-Atomkonzentration in Silizium unter Verwendung gleichmäßig dotierter Materialien



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