GB/T 14142-1993
Testverfahren für den Schichtwiderstand epitaktischer, diffundierter und ionenimplantierter Siliziumschichten unter Verwendung eines kollinearen Vier-Sonden-Arrays (Englische Version)
- Standard-Nr.
- GB/T 14142-1993
- Sprachen
- Chinesisch, Verfügbar auf Englisch
- Erscheinungsdatum
- 1993
- Organisation
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- Zustand
- 2018-04
- ersetzt durch
- GB/T 14142-2017
- Letzte Version
- GB/T 14142-2017
GB/T 14142-1993 Veröffentlichungsverlauf
- 2017 GB/T 14142-2017 Prüfverfahren zur kristallographischen Perfektion epitaktischer Schichten in Silizium – Ätztechnik
- 1993 GB/T 14142-1993 Testverfahren für den Schichtwiderstand epitaktischer, diffundierter und ionenimplantierter Siliziumschichten unter Verwendung eines kollinearen Vier-Sonden-Arrays
