2017GB/T 14142-2017 Prüfverfahren zur kristallographischen Perfektion epitaktischer Schichten in Silizium – Ätztechnik
1993GB/T 14142-1993 Testverfahren für den Schichtwiderstand epitaktischer, diffundierter und ionenimplantierter Siliziumschichten unter Verwendung eines kollinearen Vier-Sonden-Arrays