GB/T 32189-2015
Rasterkraftmikroskopische Untersuchung der Oberflächenrauheit von Galliumnitrid-Einkristallsubstraten (Englische Version)

Standard-Nr.

GB/T 32189-2015

Sprachen

Chinesisch, Verfügbar auf Englisch

Erscheinungsdatum

2016

Organisation

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

Letzte Version

GB/T 32189-2015

GB/T 32189-2015 Normative Verweisungen

• GB/T 14264 Halbleitermaterialien – Begriffe und Definitionen
• GB/T 27760 Testmethode zur Kalibrierung der Z-Vergrößerung eines Rasterkraftmikroskops bei Verschiebungsniveaus im Subnanometerbereich unter Verwendung einatomiger Si(111)-Schritte
• GB/T 3505 Geometrische Produktspezifikationen (GPS).Oberflächentextur:Profilmethode.Begriffe, Definitionen und Oberflächentexturparameter
• JJF 1351 Kalibrierungsspezifikation für Rastersondenmikroskope

GB/T 32189-2015 Veröffentlichungsverlauf

• 2016 GB/T 32189-2015 Rasterkraftmikroskopische Untersuchung der Oberflächenrauheit von Galliumnitrid-Einkristallsubstraten