GB/T 27760-2011
Testmethode zur Kalibrierung der Z-Vergrößerung eines Rasterkraftmikroskops bei Verschiebungsniveaus im Subnanometerbereich unter Verwendung einatomiger Si(111)-Schritte (Englische Version)

Standard-Nr.
GB/T 27760-2011
Sprachen
Chinesisch, Verfügbar auf Englisch
Erscheinungsdatum
2011
Organisation
General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Letzte Version
GB/T 27760-2011

GB/T 27760-2011 Normative Verweisungen

  • ISO 25178-6:2010 Geometrische Produktspezifikationen (GPS) – Oberflächenbeschaffenheit: Flächenhaft – Teil 6: Klassifizierung von Methoden zur Messung der Oberflächenbeschaffenheit
  • ISO/IEC Guide 98-3:2008 Messunsicherheit – Teil 3: Leitfaden zum Ausdruck der Messunsicherheit (GUM:1995)
  • ISO/TS 21748:2004 Leitfaden für die Verwendung von Wiederholbarkeits-, Reproduzierbarkeits- und Richtigkeitsschätzungen bei der Schätzung der Messunsicherheit

GB/T 27760-2011 Veröffentlichungsverlauf

  • 2011 GB/T 27760-2011 Testmethode zur Kalibrierung der Z-Vergrößerung eines Rasterkraftmikroskops bei Verschiebungsniveaus im Subnanometerbereich unter Verwendung einatomiger Si(111)-Schritte
Testmethode zur Kalibrierung der Z-Vergrößerung eines Rasterkraftmikroskops bei Verschiebungsniveaus im Subnanometerbereich unter Verwendung einatomiger Si(111)-Schritte



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